晶圆加工机 丰田伺服放大器维修常见故障
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而的定义为，代表，此端子由驱动器内部使用，请勿连接，以免造成损坏，第三章配线系列连接器信号说明前一节所列的信号，在此详加说明一般信号功能接线方式参考_电机的速度令，代表的转速令，_电机的扭矩令，代表额定扭矩令。。为此，将误差乘以可编程的P(比例)增益项，并用于生成速度令，另外，当轴不移动时，误差被累加(积分)并乘以I(积分)增益项，并加到速度指令中，这使能够补偿静态，否则这些静态将使误差保持为零，这种静电包括静摩擦(所谓的[粘着")和垂直轴上的重力效应。。若控制令不平滑变动时，平滑常数值加大可降低机构的运转振动现象，第七章参数与功能系列速度控制增益初值通讯相关索引节控制模式单位设定范围参数功能速度控制增益值加大时，可提昇速度应答性，但若设定太大时易產生振动及噪音。。
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曝光台面也是分有上下方两个镜子，使用的是光线折射的原理。当两个面同时进行曝光的时候，上下灯的曝光是分开的。上等行曝光，一面镜子将光线反射到台面的上方镜子，然后再折射到曝光台面上。下灯曝光时，光线是直接直射到下方的镜子里然后在折射到台面上，因此说使用品行曝光机进行曝光的时候，上灯的会比下灯的要更大一些。
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