RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备，可根据客户不同需求定制。
主要技术参数
◆工艺管数量：1管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型
◆工作温度范围：200～1100℃
◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆真空度： 3×10-4Pa
◆升温速度： 60度/min
◆降温速度： 60度/min
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
| 成立日期 | 2007年06月02日 | ||
| 法定代表人 | 姜新诚 | ||
| 注册资本 | 200 | ||
| 主营产品 | 炉体，扩散炉，链式烧结炉，真空烧结炉，异型加热器，水冷炉体等配套设备 | ||
| 经营范围 | 一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。公司本着和谐、共赢，以“质量 ... | ||
