美国MKS ELITE 750 MW-2513射频电源维修
服务品牌:AE(AdvancedEnergy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
ASTeXMicrowave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESCHV PSU。维修半导体设备电源,主要有高压电源(HighPower Supply)、框架式可控大功率直流电源(DC Power Supply)、
射频电源(RFGenerator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、SmartMatch、RPSC等设备维修