英成机电设备公司是一家成立10多年，集产品维修、安装、维护、系统电气工程业务为一体的机电设备公司。
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①处理区域在1个实验准备间和4个实验间，5个之间共用1套空气处理设备。实验间可以根据实验量选择性地使用1~4间，准备间如果有实验就必须使用。
②空气处理设备是带冷冻除湿功能的温湿度调节设备，可以自动调节处理区域的温湿度要求，根据实验间的使用数量自动调节设备送风风量。
③配置中文界面的人机界面，显示系统各部分、功能的状态和参数。
根据以上要求，当时我们选择了LOGO！OBA6系列控制器和LOGO！TD文本是这个项目的主控制器和人机界面。自10年10月末交货使用以来，系统运行稳定，除定期保养外，无故障维修记录，用户反应良好。
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运动控制系统构成。在SiC的结晶过程中，除了满足温度和真空度的条件外，还必须保证晶种和坩埚之间有相对的旋转和拉伸运动，而且要进行等速运动。否则，晶体质量不能满足要求。结晶生长的过程如图-2所示，晶种棒和坩埚棒向相反方向运动，同时坩埚棒旋转。
a.变频器控制:
如图8所示，逆变器送风的目的是保证恒压送风，系统根据房间的使用数量而变化，送风差压也随之变化，此时通过逆变器的调节可以满足送风差压的一定。
b.表冷器控制:
因为系统的降温和除湿都是用表冷器实现的，所以在表冷器的控制程序中，需要2个PI。也就是说，一个是根据温度调节的，一个是根据湿度调节的。比较两者的PI输出值，水阀的实际可取值蕞好大。如图9所示，通过“模拟比较器”和“模拟MUX”功能块实现程序。
9300系统采用实际主轴控制方式，从实际主轴(刀尖伺服)发送自身的位置，通过数次级联方式将主轴的位置传递到从轴，从轴(布滑轮等)以一定的追循比例追循主轴的同步运转，主轴自身从从轴扫描1ms使用第三者控制器在CAN总线上发送同步信息，以盘安装机的链电动机为虚拟主轴，只发送同步信息而不参与控制，虚拟主轴通过信息将主轴的位置通知从动轴，从轴刃电动机、布滑轮等
(3)系统的硬件构成
如图1所示，系统的检测部件主要有安装在送风管道上的差压传感器，是检测温湿度传感器过滤器堵塞的差压开关。驱动器有调节表冷器冰水流量的电动调节阀，调节电加热调节固态继电器送风机的频率调节变频房间的送风的电动减震器。
根据系统要求以及检测组件和执行机构的使用情况，系统的硬件配置如下