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坩埚杆的平移可以分别设定弟一/慢范围速度，现在范围通过外置按钮切换，在触摸面板画面上显示现在的状态，在现在位置上显示现在的坐标值，点击作为原点的按钮，现在位置就会变成零用户设定目标位置，点击开始按钮后，程序自动将当前位置保存在起点位置，运行电机直到到达目标位置。上下点动按钮可以使坩埚迅速上下平移。坩埚杆运转时，慢动作的切换无效，运转时不能变更速度/位置等相关设定，变动无效。晶种棒的平移过程与坩埚棒的平移过程相同。
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3.9400系列伺服在ZL22C型单元上的具体应用
3.19400系列伺服控制器的突出特点
9400系列控制器之比9300系列控制器好，取决于其自身的特点。
l*具有高性能驱动程序，具有模块化设计、完整组件概念和易于集成的安全技术。
l*中心处理器从9300系列的16位更改为32位，信号分辨率提高了一倍。
l*安装背板和驱动电子模块是分别组装的非常方便模块化的驱动系统容易适应用户的应用程序，用户的自由度更高
l*可选的可重新拔插安全模块符合IEC61508SIL8的安全标准。
提高，本案例介绍的晶体生长炉是物理系碳化硅晶体规模化生产的弟一批设备，主要目的是完成生长炉的功能，实现晶体生长的技术。削减成本和改变控制方法是下一步的工作，提出以下几点
系统总线端子块I/O与Ether P6201进行通信，连接通信的总线耦合器EK1100作为自动识别所连接的总线端子块，自动向进程图像区域的字节分配输入输出的总线通信端子块发挥作用。该系统除了通常的数字量模块以外，还用于温度模块EL3204和高速模块EL1502，这些模块都是12mm宽的非常小型的，各模块的蕞小通道是1通道，系统是非现场总线的端子箱通过EtherCAT将磁盘装置的接近开关、光电开关的信号直接返回CP，大幅度提高其响应速度，集成管理接近开关、光电开关节约了成本，减少了工人的工作量。
本外壳的真空度控制由真空控制器实现，同样为了降低成本提高系统的集成度，用PLC完成，采集真空计的模拟信号测量炉室内的真空度，根据需要调节变频器的频率，调整真空泵的转速。要完成2和3的功能，只需追加1个模拟量输入模块LM3310和模拟量输出模块LM3320即可实现。